連續(xù)式光學薄膜形成裝置

COFC-1300

COFC-1300是由三個腔體組成的連續(xù)式光學薄膜鍍膜，可不破壞真空的情況下搬運工件，以實現(xiàn)連續(xù)大量生產(chǎn)光學濾光片。

特征
無振動傘架搬運系統(tǒng)
中心旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)可提高旋轉(zhuǎn)精度并抑制顆粒產(chǎn)生
轉(zhuǎn)速為20rpm，以改善膜厚控制能力
12點式高精度光學測厚監(jiān)控儀
水晶微平衡監(jiān)控儀（最多80個監(jiān)測點）
裝載射頻離子源以實現(xiàn)高品質(zhì)復(fù)雜薄膜
自動傘架安裝系統(tǒng)（可選自動裝載搬運系統(tǒng)，可選額外真空室）
規(guī)格
真空腔體（3腔體式） 上片腔體+蒸鍍腔體+下片腔體
（可選上片/下片式）
真空上片/下片腔體（2腔體） 304不銹鋼，
約1500mm (長) × 1500mm (深) × 1560mm (高)
蒸鍍腔體（2個門閥） 304不銹鋼，
約1500mm (長) × 1500mm (深) × 1560mm (高)
極限真空壓力 ≤1.5 × 10-4 Pa
連續(xù)鍍膜的極限真空時間 ≤5 - 10分鐘 (7.0 × 10-3 Pa)
基板傘架 直徑1200 mm
旋轉(zhuǎn)速度 5 - 20 rpm
蒸發(fā)源（2個蒸發(fā)源） 電子槍（帶自動進料系統(tǒng)）
射頻離子源 直徑17cm
工作條件
電源要求 3相+G, 200V ± 5％、約140kVA、50/60Hz
冷卻水流量 三個進水口≥200升/分鐘
重量 約25000 kg