ALDER

ALDER-800P

ALDER-800P 是一種等離子 ALD 系統(tǒng)，可在塑料基板上進行光學多層沉積。

特征
在整個鏡片圓周和 3D 結(jié)構(gòu)上進行保形沉積
可以在 AI2O3、TiO2 和 SiO2 上進行薄膜沉積。
工作盤成膜量大 Φ100×75片
等離子工藝可實現(xiàn)低溫沉積
通過優(yōu)化原材料供應(yīng)和等離子體照射縮短沉積時間