關于SPOC系列

SPOC-1100T

SPOC-1100T系列是用于制造DWDM用窄帶濾光片的真空鍍膜系統(tǒng)。能進行高精度的光學多層膜鍍膜，生產(chǎn)光通信用的濾光片。 SPOC-1100R是用于截止濾光片,分束器,抗反射膜等光學鍍膜機。

特征
利用高精度反射光學膜厚計實時測定和控制成膜時的膜厚
利用高速基板旋轉機構提高膜的均勻性
搭載雙電子槍并加大型坩堝，能對應超多層薄膜
配上OPTORUN`產(chǎn)離子源實現(xiàn)高蒸發(fā)速率，提高生產(chǎn)率