ALDER

ADLER-1000P

ALDER-1000 實(shí)現(xiàn)了傳統(tǒng)薄膜沉積方法無(wú)法實(shí)現(xiàn)的光學(xué)特性?？梢孕纬?D膠片，相機(jī)鏡頭上的AR膠片可以創(chuàng)造出沒(méi)有重影和眩光的清晰圖像。

特征
可見(jiàn)光范圍內(nèi)小于0.1%的超低反射鍍膜
在具有陡峭三維結(jié)構(gòu)的表面上進(jìn)行保形沉積
大曲率透鏡兩側(cè)的廣入射角增透膜
低溫等離子在塑料鏡片上成膜
通過(guò)同時(shí)沉積 40 個(gè) φ350 晶圓實(shí)現(xiàn)高生產(chǎn)率
實(shí)現(xiàn)逼真清晰的圖像，沒(méi)有重影和眩光
規(guī)格
真空室 W900mm x D900mm x H1150mm
沉積箱 W374mm x D700mm x H800mm
轉(zhuǎn)板架 φ350支架×40步，30rpm
等離子源 ICP（電感耦合等離子體）
前體來(lái)源 前體容器、ALD 閥、前體（TMA、3DMAS、TiCl4 等）
排氣系統(tǒng) 干泵
性能
極限壓力 真空室：小于7Pa
排氣時(shí)間 真空室：30分鐘（大氣壓至10Pa）
沉積溫度 最高130℃