特殊規(guī)格光學(xué)鍍膜機(jī)
OTFC-PX
OTFC-PX是搭載了行星回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)與離子源，適用于多種曲率面型的透鏡，反光鏡的光學(xué)薄膜蒸鍍的光學(xué)鍍膜機(jī)。
- 特征
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采用行星回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，提高表面分布情況
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可以改變的基板架角度，在球面基板上實(shí)現(xiàn)高均勻性鍍膜
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采用離子束輔助蒸鍍（IAD）方式，提高薄膜質(zhì)量
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光學(xué)式膜厚監(jiān)控，實(shí)現(xiàn)高性能光學(xué)薄膜的蒸鍍
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大型真空室（Ф1800）搭載行星回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，提高生產(chǎn)能力
