光學(xué)膜厚監(jiān)控儀

HOM1-1

高精度光學(xué)膜厚監(jiān)控儀

用于DWDM成膜用真空鍍膜系統(tǒng)的膜厚控制。

特征
高NA值光學(xué)系統(tǒng)和低噪音電路設(shè)計,實現(xiàn)低噪音,相對值達到 +0.01%
應(yīng)用高分解能分光光學(xué)系,波長分解能達到0.08nm(1550nm)
使用鹵素?zé)艄庠矗褂貌ㄩL范圍1100nm-1700nm
運用先進的成膜計算控制技術(shù),光透過率的極值監(jiān)控能力可達+0.01%
規(guī)格
型號 HOM1-1
波長帶域 1100nm - 1700nm
波長分解能 0.08nm
光亮設(shè)定分解能 0.001%
光源 鹵素?zé)?/span>
電源 AC100V±10%, 50/60Hz
消費電力 600VA